一種超高純氣體的鋼瓶處理系統(tǒng)，包括置換氣源、減壓裝置、吸附器、過(guò)濾器組、鋼瓶組、加熱烘箱、真空泵和分析裝置；置換氣源的輸出端連通至減壓器的輸入端；減壓器的輸出端連通管至吸附器的輸入端，減壓器的輸出端還連通至分析裝置的輸入端；吸附器的輸出端連通至過(guò)濾器組的輸入端；鋼瓶組包括多個(gè)鋼瓶和總管，多個(gè)鋼瓶連通至總管，多個(gè)鋼瓶放置于加熱烘箱內(nèi)；過(guò)濾器組的輸出端連通至總管的輸入端，總管的輸出端連通至真空泵的輸入端。本實(shí)用新型根據(jù)上述內(nèi)容提出一種超高純氣體的鋼瓶處理系統(tǒng)及方法，使鋼瓶?jī)?nèi)部的潔凈度達(dá)到電子氣體的使用要求。


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